FEATURE

진공 밸브는 폐쇄 시스템에서 진공을 유지해야 할 때 사용됩니다.

진공 챔버를 격리하거나 유체를 진공 용기로 유도하는 것을 목적으로 사용되는 밸브입니다.

일련의 압력 스위치가 진공 밸브(수동 밸브 제외)가 있는 대부분의 라인에 설치되어 흐름을 제어하고 실행 중인 공정에서 요구하는 대로 내부 퍼니스 압력을 변경합니다.

APPLICATION

진공 밸브는 폐쇄 진공 처리 시스템에서 진공을 유지해야 하는 경우 고진공 또는 초고진공 시스템 장비에 사용됩니다.

CHARACTERISTICS

버터플라이 밸브 는 파이프의 흐름 방향에 직각인 피벗 축이 있는 금속 원형 디스크 또는 베인으로 구성된 신속 개방 밸브로, 샤프트에서 회전할 때 밸브 본체의 시트에 대해 밀봉됩니다.

슬릿 밸브(사각 게이트 밸브)  는 반도체 제조 장비의 로드록 진공 챔버와 이송 챔버 사이, 이송 챔버와 공정 챔버 사이의 파티션 밸브에 적합합니다.

진공 볼 밸브 는 균일한 밀봉 응력을 허용하는 원형 시트가 있는 원형 폐쇄 요소가 있는 1/4 회전 직선형 흐름 밸브입니다. 

앵글 밸브 는 입구 포트가 출구 포트에 직각으로 위치합니다. 이 앵글 밸브 재료는 알루미늄 A6061-T6으로 반도체 및 기기 제조, R&D 및 산업용 진공 시스템을 위한 고진공 응용 분야에 사용됩니다. 

CATALOG I 카탈로그 〉